| 型番 | OSK 97IG600-A | OSK 97IG600-B |
|---|---|---|
| 外寸 (WxDxH mm) | 約1,023x800x2,260mm | 約1,323x800x2,260mm |
| 内寸 (WxDxH mm) | 約900x655x678mm | 約1,200x655x678mm |
| メインフィルター | ULPA | |
| 集塵効率(.01~0.2μmの粒子) | 99.999% | |
| 排気フィルター | ULPA | |
| 集塵効率(.01~0.2μmの粒子) | 99.999% | |
| コントロールシステム | マイクロプロセッサー | |
| フロントパネル | モーターパネル / マルチレイヤーセーフティーガラス | |
| 電源 | 110V/ 50-60Hz | |