型番 | OSK 97IG600-A | OSK 97IG600-B |
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外寸 (WxDxH mm) | 約1,023x800x2,260mm | 約1,323x800x2,260mm |
内寸 (WxDxH mm) | 約900x655x678mm | 約1,200x655x678mm |
メインフィルター | ULPA | |
集塵効率(.01~0.2μmの粒子) | 99.999% | |
排気フィルター | ULPA | |
集塵効率(.01~0.2μmの粒子) | 99.999% | |
コントロールシステム | マイクロプロセッサー | |
フロントパネル | モーターパネル / マルチレイヤーセーフティーガラス | |
電源 | 110V/ 50-60Hz |