OSK 50OU018　クリーンルームソルーション

＜説明＞

• クリーンルームの設置仕様によって、選択する炉の仕様に様々な条件が要求されます。炉全体がクリーンルームに設置される場合は、クリーンルーム環境の汚染防止が重要です。特に粒子による汚染を最小限に削減してください。典型的な適用の特性が必要な炉の技術選択に決定的となります。多くの場合、低温でも熱が均一に分布するために熱風循環炉が必要になります。高温向けに放射加熱炉を各種取り揃えています。

＜クリーンルーム内の炉設置＞

• 炉全体をクリーンルーム内に設置する場合、炉室、炉ハウジング
  および制御部が汚染から守られていることが重要です。またその
  外部表面は容易に洗浄できることが重要です。炉室は内部が断
  熱層になっています。必要な場合は、空気循環フィルターや炉内
  の空気循環などの追加装備も可能です。スイッチや炉制御装置
  をクリーンルームの外に設置することを奨励します。

＜グレイルーム内の炉設置、クリーンルームからの炉への装入＞

• 最適なクリーンルームのグレード（一級品）はグレールームでの炉の設置によってロットと一緒にクリーンルームに装入することで達成出来るのです。またクリーンルーム内のフロントおよび炉室の洗浄が容易です。この仕様によって最高のクリーンルーム等級が達成できます。

＜＜グレイルームとクリーンルームの間のシャッター炉＞＞

• グレイルームとクリーンルーム間の輸送は通常、容易な仕様に最適化されています。グレイルームとクリーンルームにそれぞれ扉が装備され、クリーンルームの炉側面は粒子堆積の大部分を削減できる構造です。クリーンルーム環境下での熱処理のためのソルーションをお探しの際には当社にご相談ください。当社は目的に合った炉モデルをご提供します。