測定範囲 | Ra:0.05~10.00 μm / 1.000~400.9 μinch | |||||
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測定範囲 | Rz:0.020~100.0 μm / 0.780~4000 μinch | |||||
精度 | ±10% 以下 | |||||
表示値の変動 | 6% 以下 | |||||
分解能 | 0.001 μm、0.01 μm、0.1 μm | |||||
プローブ | 半径 | 5 μm | ||||
材質 | ダイアモンド | |||||
測定力 | 16mN(1.6gf) | |||||
角度 | 90° | |||||
垂直半径 | 48mm | |||||
最大ストローク | 12.5mm/0.5inch | |||||
カットオフ長さ | 0.25mm、0.8mm、2.5mm | |||||
測定速度 | 測定時 |
サンプル長さ:0.25mm Vt:0.135mm/s サンプル長さ:0.8mm Vt:0.5mm/s サンプル長さ:2.5mm Vt:1mm/s |
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戻り時 | Vt=1mm/s | |||||
評価長さ | 1~2L カットオフオプション (0.25mm サンプル長さ=1L) |
標準品 | ホスト、小型ドライバー、標準ボイラープレート、スタンダードセンサー | ||
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キャリーケース、操作マニュアル | |||
オプション | USBデータ出力、RS-232データ出力、Bluetoothデータ出力 |